高解析度臺式掃描電鏡
光學顯微鏡₪╃▩╃₪:放大 20-135 倍; 電子顯微鏡₪╃▩╃₪:130,000 倍;
探測器₪╃▩╃₪:高靈敏度四分割背散射電子探測器;
燈絲材料₪╃▩╃₪:1,500 小時 CeB6 燈絲;
解析度₪╃▩╃₪:優於 14 nm;
放置環境₪╃▩╃₪:採用專業防震設計·₪,可擺放於普通實驗室或辦公室╃•·₪│、廠房;
加速電壓₪╃▩╃₪:5kV-15kV 連續可調;
抽真空時間₪╃▩╃₪:小於 15 秒↟╃││。
技術特點₪╃▩╃₪:
自動高亮度電子槍·₪,全數字化高壓電源·₪,0.5KV~30KV範圍內隨意調節;
聚光鏡精細控制 Spot size設定10檔調節;
圓錐形物鏡·₪,具有更高分辨效能;
四孔可變光闌·₪,分別用於高分辨觀察和不同的分析目的;
實時灰度直方圖·₪,自動亮度對比度;
X Y T, 3軸自動樣品臺↟╃││。
高解析度臺式掃描電鏡 打破了傳統臺式掃描電鏡採用BSD探測器成像的侷限性·₪,利用創新的 雙聚光鏡成像技術·₪,採用大型掃描電鏡成像原理·₪,使用二次電子探測器作為基礎成像單元·₪,從而可以獲得更高的解析度(<8nm)·₪,是真正意義上的高解析度臺式掃描電鏡↟╃││。