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臺式掃描電子顯微鏡實現自動控制和執行

 釋出時間✘•◕╃│:2019-05-16 點選量✘•◕╃│:1199
    臺式掃描電子顯微鏡實現自動控制和執行  
    臺式掃描電子顯微鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分◕•▩·•,鏡體部分由電子光學系統(包括電子槍╃◕◕│、掃描線圈等)╃◕◕│、試樣室╃◕◕│、檢測器以及真空抽氣系統組成│·│。
   臺式掃描電子顯微鏡在加速電壓的作用下(2~30kV)◕•▩·•,經過三個電磁透鏡(或兩個電磁透鏡)◕•▩·•,匯聚成一個細小到5nm的電子探針◕•▩·•,在末級透鏡上部掃描線圈的作用下◕•▩·•,使電子探針在試樣表面做光柵狀掃描(光柵線條數目取決於行掃描和幀掃描速度)│·│。由於高能電子與物質的相互作用◕•▩·•,結果在試樣上產生各種資訊如二次電子╃◕◕│、背反射電子╃◕◕│、俄歇電子╃◕◕│、X射線╃◕◕│、陰極發光╃◕◕│、吸收電子和透射電子等│·│。
    因為從試樣中所得到各種資訊的強度和分佈各自同試樣表面形貌╃◕◕│、成分╃◕◕│、晶體取向╃◕◕│、以及表面狀態的一些物理性質(如電性質╃◕◕│、磁性質等)等因素有關◕•▩·•,因此◕•▩·•,臺式掃描電子顯微鏡透過接收和處理這些資訊◕•▩·•,就可以獲得表徵試樣形貌的掃描電子像◕•▩·•,或進行晶體學分析或成分分析│·│。
 在臺式掃描電子顯微鏡應用中◕•▩·•,很多集中在半導體器件和積體電路方面◕•▩·•,它可以很詳細地檢查器件工作時區域性表面電壓變化的實際情況◕•▩·•,這是因為這種變化會帶來象的反差的變化◕•▩·•,焊接開裂和腐蝕表面的細節或相互關係可以很容易地觀察到│·│。臺式掃描電子顯微鏡顯示化學成分的空間變化◕•▩·•,基於化學成分的相鑑定---化學成分像分佈◕•▩·•,微區化學成分分析◕•▩·•,生成與樣品形貌相對應的◕•▩·•,元素面分佈圖或者進行定點化學成分定性定量分析◕•▩·•,相鑑定│·│。
    臺式掃描電子顯微鏡利用陰極熒光◕•▩·•,基於某些痕量元素(如過渡金屬元素◕•▩·•,稀土元素等)受電子束激發的光強反差◕•▩·•,生成的痕量元素分佈圖像◕•▩·•,利用樣品電流◕•▩·•,基於平均原子序數反差◕•▩·•,生成的化學成分相的分佈圖像◕•▩·•,該影象與背散射電子影象亮暗相反│·│。臺式掃描電子顯微鏡利用俄歇電子◕•▩·•,對樣品物質表面1nm表層進行化學元素分佈的定性定理分析│·│。
 

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