臺式掃描電子顯微鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統兩部分◕•▩·•，鏡體部分由電子光學系統（包括電子槍╃◕◕│、掃描線圈等）╃◕◕│、試樣室╃◕◕│、檢測器以及真空抽氣系統組成│·│。

   臺式掃描電子顯微鏡在加速電壓的作用下（2～30kV）◕•▩·•，經過三個電磁透鏡（或兩個電磁透鏡）◕•▩·•，匯聚成一個細小到5nm的電子探針◕•▩·•，在末級透鏡上部掃描線圈的作用下◕•▩·•，使電子探針在試樣表面做光柵狀掃描（光柵線條數目取決於行掃描和幀掃描速度）│·│。由於高能電子與物質的相互作用◕•▩·•，結果在試樣上產生各種資訊如二次電子╃◕◕│、背反射電子╃◕◕│、俄歇電子╃◕◕│、X射線╃◕◕│、陰極發光╃◕◕│、吸收電子和透射電子等│·│。

    因為從試樣中所得到各種資訊的強度和分佈各自同試樣表面形貌╃◕◕│、成分╃◕◕│、晶體取向╃◕◕│、以及表面狀態的一些物理性質（如電性質╃◕◕│、磁性質等）等因素有關◕•▩·•，因此◕•▩·•，臺式掃描電子顯微鏡透過接收和處理這些資訊◕•▩·•，就可以獲得表徵試樣形貌的掃描電子像◕•▩·•，或進行晶體學分析或成分分析│·│。

　在臺式掃描電子顯微鏡應用中◕•▩·•，很多集中在半導體器件和積體電路方面◕•▩·•，它可以很詳細地檢查器件工作時區域性表面電壓變化的實際情況◕•▩·•，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化◕•▩·•，焊接開裂和腐蝕表面的細節或相互關係可以很容易地觀察到│·│。臺式掃描電子顯微鏡顯示化學成分的空間變化◕•▩·•，基於化學成分的相鑑定---化學成分像分佈◕•▩·•，微區化學成分分析◕•▩·•，生成與樣品形貌相對應的◕•▩·•，元素面分佈圖或者進行定點化學成分定性定量分析◕•▩·•，相鑑定│·│。

    臺式掃描電子顯微鏡利用陰極熒光◕•▩·•，基於某些痕量元素(如過渡金屬元素◕•▩·•，稀土元素等)受電子束激發的光強反差◕•▩·•，生成的痕量元素分佈圖像◕•▩·•，利用樣品電流◕•▩·•，基於平均原子序數反差◕•▩·•，生成的化學成分相的分佈圖像◕•▩·•，該影象與背散射電子影象亮暗相反│·│。臺式掃描電子顯微鏡利用俄歇電子◕•▩·•，對樣品物質表面1nm表層進行化學元素分佈的定性定理分析│·│。