成像系統和電子束系統均內建在真空柱中☁◕╃，真空柱底端即為右圖所示的密封室☁◕╃，用於放置樣品₪·↟。之所以要用真空☁◕╃，主要基於以下兩點原因•••☁↟：電子束系統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效☁◕╃，所以除了在使用SEM時需要用真空以外☁◕╃，平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱₪·↟。為了增大電子的平均自由程☁◕╃，從而使得用於成像的電子更多₪·↟。

   不僅可在真空下☁◕╃，還可在大氣壓下進行觀察☁◕╃，含水樣品也無需前處理即可直接觀察☁◕╃，是目前市面上一款大氣壓模式下觀測的掃描電鏡☁◕╃，免去了了生物☁◕╃，食品☁◕╃，化妝品等樣品複雜的前處理過程☁◕╃，同時還能觀察樣品的原始形貌₪·↟。臺式掃描電鏡在成分分析方面主要有EDS能譜丶WDS波譜兩種偵測器可以搭配☁◕╃，能譜分析速度較快☁◕╃，元素檢測極限約1000~2000ppm₪·↟。

   波譜分析速度較慢☁◕╃，但元素偵測極限較好☁◕╃，約在10~100ppm☁◕╃，成分分析分析方法上面有三種模式可以選擇☁◕╃，奈米範圍內微小區域成分分析☁◕╃，可以幫助使用者做特定區域的分析☁◕╃，可以觀察掃描線段區域的成分變化₪·↟。飛納臺式掃描電鏡採用成熟的GEMINI光學系統設計☁◕╃，解析度超過0.8nm☁◕╃，為您提供高解析度和分析效能科研平臺₪·↟。

   臺式掃描電鏡直觀便捷的四步工作流程可以快速成像₪↟•、簡化分析程式₪↟•、提高工作效率₪·↟。您會比以往更快₪↟•、更多的獲取資料₪·↟。多種探測器的選擇使Sigma500可以精準的匹配您的應用程式•••☁↟：您可以獲取微小粒子₪↟•、表面₪↟•、奈米結構₪↟•、薄膜₪↟•、塗層和多層的影象資訊₪·↟。掃描電鏡有較高的放大倍數☁◕╃，幾萬~幾十萬倍之間連續可調；有很大的景深☁◕╃，視野大☁◕╃，成像富有立體感☁◕╃，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；試樣製備簡單₪·↟。 

   目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置☁◕╃，這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區成分分析☁◕╃，因此它是當今十分有用的科學研究儀器₪·↟。掃描電鏡由真空系統₪↟•、電子光學系統₪↟•、樣品室和樣品臺₪↟•、電子探測器₪↟•、背散射電子探頭₪↟•、真空泵₪↟•、自動穩壓器₪↟•、工具₪↟•、計算機₪↟•、操作軟體及附件組成☁◕╃，主要用於材料科學₪↟•、化學化工₪↟•、生命科學以及相關領域的研究工作☁◕╃，對各種掃描電鏡工產品₪↟•、生物製品₪↟•、非金屬礦及深加工產品等進行觀測₪·↟。