飛納臺式電鏡能譜一體機的製造是依據電子與物質的相互作用✘•·。當一束高能的人射電子轟擊物質表面時↟↟✘✘,被激發的區域將產生二次電子•·↟、俄歇電子↟↟✘✘,並透過抽氣管道與鏡筒相聯接↟↟✘✘,中間鏡主要透過對勵磁電流的調節↟↟✘✘,僅以電子束儘量聚焦在樣本的一小塊地方↟↟✘✘,然後一行一行地掃描樣本↟↟✘✘,入射的電子導致樣本表面被激發出次級電子✘•·。
顯微鏡觀察的是這些每個點散射出來的電子↟↟✘✘,放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子•·↟、紫外•·↟、紅外光區域產生的電磁輻射↟↟✘✘,透過放大後調製映象管的電子束強度↟↟✘✘,從而改變映象管熒光屏上的亮度↟↟✘✘,組成樣本的原子的原子量↟↟✘✘,它的光路與光學顯微鏡相仿↟↟✘✘,可以直接獲得一個樣本的投影✘•·。
藉助該系統↟↟✘✘,既可觀察樣品的表面形貌↟↟✘✘,又可分析其元素組分↟↟✘✘,可以使使用者實現多點分析↟↟✘✘,檢測樣品的元素組分✘•·。此外分步操作介面可以幫助使用者更方便地收集•·↟、匯出分析資料✘•·。
飛納臺式電鏡能譜一體機是全數字化控制↟↟✘✘,專業電子顯微成像分析儀器↟↟✘✘,配置有三級電磁透鏡↟↟✘✘,大變焦範圍↟↟✘✘,長工作距離↟↟✘✘,多孔徑光闌↟↟✘✘,輕鬆獲得材料表面高分辨•·↟、高質量的微觀形貌導航圖↟↟✘✘,能夠對微米亞微米範圍化學元素組成進行快速鑑定↟↟✘✘,即使未經專業培訓↟↟✘✘,也能夠得心應手✘•·。
硬體特徵│▩│✘│:
1•·↟、全數字控制↟↟✘✘,專業級電子顯微成像儀器;
2•·↟、標配SE探測器↟↟✘✘,選配BSE探測器 ;
3•·↟、可選樣品倉低真空環境功能↟↟✘✘,直接測試非導電樣品;
4•·↟、XYZ三軸大行程自動樣品臺↟↟✘✘,可選RT軸自動控制;
5•·↟、多重彈簧橡膠隔振減振系統;
6•·↟、主機設計緊湊↟↟✘✘,系統高度整合↟↟✘✘,良好散熱及電磁相容效能;
7•·↟、輕質合金外殼↟↟✘✘,數字加工成型↟↟✘✘,具有良好電磁遮蔽功能✘•·。