飛納臺式電鏡能譜一體機的製造是依據電子與物質的相互作用◕·。當一束高能的人射電子轟擊物質表面時│↟，被激發的區域將產生二次電子✘₪✘✘、俄歇電子│↟，並透過抽氣管道與鏡筒相聯接│↟，中間鏡主要透過對勵磁電流的調節│↟，僅以電子束儘量聚焦在樣本的一小塊地方│↟，然後一行一行地掃描樣本│↟，入射的電子導致樣本表面被激發出次級電子◕·。
顯微鏡觀察的是這些每個點散射出來的電子│↟，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子✘₪✘✘、紫外✘₪✘✘、紅外光區域產生的電磁輻射│↟，透過放大後調製映象管的電子束強度│↟，從而改變映象管熒光屏上的亮度│↟，組成樣本的原子的原子量│↟，它的光路與光學顯微鏡相仿│↟，可以直接獲得一個樣本的投影◕·。
藉助該系統│↟，既可觀察樣品的表面形貌│↟，又可分析其元素組分│↟，可以使使用者實現多點分析│↟，檢測樣品的元素組分◕·。此外分步操作介面可以幫助使用者更方便地收集✘₪✘✘、匯出分析資料◕·。
飛納臺式電鏡能譜一體機是全數字化控制│↟，專業電子顯微成像分析儀器│↟，配置有三級電磁透鏡│↟，大變焦範圍│↟，長工作距離│↟，多孔徑光闌│↟，輕鬆獲得材料表面高分辨✘₪✘✘、高質量的微觀形貌導航圖│↟，能夠對微米亞微米範圍化學元素組成進行快速鑑定│↟，即使未經專業培訓│↟，也能夠得心應手◕·。
硬體特徵▩•·▩：
1✘₪✘✘、全數字控制│↟，專業級電子顯微成像儀器；
2✘₪✘✘、標配SE探測器│↟，選配BSE探測器 ；
3✘₪✘✘、可選樣品倉低真空環境功能│↟，直接測試非導電樣品；
4✘₪✘✘、XYZ三軸大行程自動樣品臺│↟，可選RT軸自動控制；
5✘₪✘✘、多重彈簧橡膠隔振減振系統；
6✘₪✘✘、主機設計緊湊│↟，系統高度整合│↟，良好散熱及電磁相容效能；
7✘₪✘✘、輕質合金外殼│↟，數字加工成型│↟，具有良好電磁遮蔽功能◕·。
