飛納臺式電鏡能譜一體機的製造是依據電子與物質的相互作用✘•·。當一束高能的人射電子轟擊物質表面時↟↟✘✘，被激發的區域將產生二次電子•·↟、俄歇電子↟↟✘✘，並透過抽氣管道與鏡筒相聯接↟↟✘✘，中間鏡主要透過對勵磁電流的調節↟↟✘✘，僅以電子束儘量聚焦在樣本的一小塊地方↟↟✘✘，然後一行一行地掃描樣本↟↟✘✘，入射的電子導致樣本表面被激發出次級電子✘•·。
顯微鏡觀察的是這些每個點散射出來的電子↟↟✘✘，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子•·↟、紫外•·↟、紅外光區域產生的電磁輻射↟↟✘✘，透過放大後調製映象管的電子束強度↟↟✘✘，從而改變映象管熒光屏上的亮度↟↟✘✘，組成樣本的原子的原子量↟↟✘✘，它的光路與光學顯微鏡相仿↟↟✘✘，可以直接獲得一個樣本的投影✘•·。
藉助該系統↟↟✘✘，既可觀察樣品的表面形貌↟↟✘✘，又可分析其元素組分↟↟✘✘，可以使使用者實現多點分析↟↟✘✘，檢測樣品的元素組分✘•·。此外分步操作介面可以幫助使用者更方便地收集•·↟、匯出分析資料✘•·。
飛納臺式電鏡能譜一體機是全數字化控制↟↟✘✘，專業電子顯微成像分析儀器↟↟✘✘，配置有三級電磁透鏡↟↟✘✘，大變焦範圍↟↟✘✘，長工作距離↟↟✘✘，多孔徑光闌↟↟✘✘，輕鬆獲得材料表面高分辨•·↟、高質量的微觀形貌導航圖↟↟✘✘，能夠對微米亞微米範圍化學元素組成進行快速鑑定↟↟✘✘，即使未經專業培訓↟↟✘✘，也能夠得心應手✘•·。
硬體特徵│▩│✘│：
1•·↟、全數字控制↟↟✘✘，專業級電子顯微成像儀器；
2•·↟、標配SE探測器↟↟✘✘，選配BSE探測器 ；
3•·↟、可選樣品倉低真空環境功能↟↟✘✘，直接測試非導電樣品；
4•·↟、XYZ三軸大行程自動樣品臺↟↟✘✘，可選RT軸自動控制；
5•·↟、多重彈簧橡膠隔振減振系統；
6•·↟、主機設計緊湊↟↟✘✘，系統高度整合↟↟✘✘，良好散熱及電磁相容效能；
7•·↟、輕質合金外殼↟↟✘✘，數字加工成型↟↟✘✘，具有良好電磁遮蔽功能✘•·。
