高解析度臺式掃描電鏡是對樣品表面形態進行測試的一種大型儀器↟↟，當具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時↟↟，電子與元素的原子核及外層電子發生單次或多次彈性與非彈性碰撞↟↟，一些電子被反射出樣品表面↟↟，而其餘的電子則滲入樣品中↟↟，逐漸失去其動能↟↟，停止運動↟↟，並被樣品吸收▩••◕▩。

　　掃描電鏡影片放大器放大的二次電子訊號是一個交流訊號↟↟，用這個交流訊號調製映象管柵極電↟↟，其結果在映象管熒光屏上呈現的是一幅亮暗程度不同的↟↟，並反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像▩••◕▩。

　　掃描方式分點掃描▩╃、線掃描▩╃、面掃描和Y調製掃描▩••◕▩。掃描電鏡影象的放大倍率是透過改變電子束偏轉角度來調節的↟↟，放大倍數等於CRT面積與電子束在樣品上掃描的面積之比↟↟，減小樣品上掃描的面積↟↟，就可增加放大倍率↟↟，電子束在樣品上掃描的面積↟↟，由掃描線圈產生的激勵磁場控制↟↟，可以連續調節↟↟，所以掃描電鏡的放大倍率是可以連續調節的▩••◕▩。

　　為保證高解析度臺式掃描電鏡電子光學系統的正常工作↟↟，掃描電鏡採用一個機械泵和一個油擴散泵↟↟，真空系統的工作自動進行並有保護電路▩••◕▩。若達不到高真空↟↟，高壓指示燈將不亮↟↟，高壓加不上↟↟，擴散泵冷卻水斷路或水壓不足↟↟，全機電源自動切斷↟↟，擴散泵溫度過高也自動斷電▩••◕▩。電子槍燈絲更換有單獨的電子槍室與主機鏡筒隔離↟↟，更換燈絲後幾分鐘內電子槍即可達到高真空▩••◕▩。