臺式掃描電子顯微鏡使用發生匯聚的電子束☁✘▩，轟擊樣品☁✘▩，發生各種訊號☁✘▩，例如二次電子☁✘▩，背散射電子☁✘▩，吸收電子☁✘▩，X射線等│▩₪•☁。不同的訊號攜帶有不同的襯度│▩₪•☁。常見的襯度有形貌襯度和成分襯度│▩₪•☁。還有一種在晶體資料中常見的襯度就是電子通道襯度☁✘▩，即ECC（Electron Channeling Contrast）襯度│▩₪•☁。它可以反映不同取向的晶粒以及一些缺陷│▩₪•☁。

 

　　臺式掃描電子顯微鏡使用中關於晶體的資料☁✘▩，二次電子和背散射電子的產額與初始電子束與晶面的相對取向有關│▩₪•☁。晶體取向的不同會造成初始電子被試樣原子散射的機率發生差異☁✘▩，從而影響二次電子和背散射電子的產額│▩₪•☁。兩種不同取向晶粒☁✘▩，關於A晶粒☁✘▩，電子進入該晶粒時☁✘▩，與原子核發生磕碰的機率減小☁✘▩，大機率會直接透過往樣品更深處運動☁✘▩，磕碰減小☁✘▩，往樣品外散射的訊號就會減小☁✘▩，圖畫中體現的襯度就會低☁✘▩，比較暗；相反☁✘▩，關於B晶粒☁✘▩，取向發生改變☁✘▩，電子進入該晶粒中☁✘▩，磕碰機率提高☁✘▩，發生的訊號量就會增加☁✘▩，圖畫中體現的襯度就會較高☁✘▩，比較亮│▩₪•☁。因而☁✘▩，晶粒取向不同☁✘▩，對發生的訊號量就會造成影響☁✘▩，透過將這些訊號蒐集起來進行處理就可以對不同的取向進行表徵│▩₪•☁。

 

　　在瞭解了通道襯度是如何構成的之後☁✘▩，要如安在樣品上觀察到這種襯度呢↟↟✘✘•？

 

　　首先☁✘▩，需求是晶體資料☁✘▩，外表具有良好的晶體結構☁✘▩，因而☁✘▩，關於樣品製備的要求相關於常規掃描樣品要愈加嚴格│▩₪•☁。臺式掃描電子顯微鏡需求對樣品進行拋光處理☁✘▩，取得平坦的外表│▩₪•☁。一起在機械拋光完成之後外表仍然存在應力層☁✘▩，為了去掉應力層☁✘▩，可以選用振盪拋光☁✘▩，矽膠拋光☁✘▩，電解拋光☁✘▩，或許氬離子拋光☁✘▩，關於部分資料☁✘▩，也可以直接用相應的腐蝕液稍微腐蝕一下☁✘▩，也能很好的去除應力層│▩₪•☁。每種制樣辦法都有各自的優缺點☁✘▩，振盪拋光和選用矽膠拋光的辦法☁✘▩，製備的外表很平坦☁✘▩，可是往往需求較長的時刻才幹很好的去除應力層；電解拋光需求樣品導電☁✘▩，拋光引數（包含拋光的時刻電壓電流☁✘▩，電解液的挑選等）需求摸索☁✘▩，拋光的樣品也不適合很大☁✘▩，含有夾雜物或許多相的資料也不適合用電解拋光；氬離子拋光主要有兩種☁✘▩，一種是平面拋光☁✘▩，一種是截面拋光☁✘▩，平面拋光可以在樣品外表接近中心的方位進行☁✘▩，可是往往會帶來非常顯著的外表浮凸☁✘▩，引入形貌襯度☁✘▩，截面拋光雖然可以取得非常平坦的面☁✘▩，可是隻能在邊緣處進行☁✘▩，區域比較小│▩₪•☁。因而☁✘▩，依據樣品挑選適宜的制樣辦法☁✘▩，終究取得一個平坦的無應力層的外表│▩₪•☁。