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臺式掃描電子顯微鏡與電子通道襯度的那些事兒

 釋出時間··:2021-07-26 點選量··:1073
  臺式掃描電子顯微鏡使用發生匯聚的電子束☁✘▩,轟擊樣品☁✘▩,發生各種訊號☁✘▩,例如二次電子☁✘▩,背散射電子☁✘▩,吸收電子☁✘▩,X射線等│▩₪•☁。不同的訊號攜帶有不同的襯度│▩₪•☁。常見的襯度有形貌襯度和成分襯度│▩₪•☁。還有一種在晶體資料中常見的襯度就是電子通道襯度☁✘▩,即ECC(Electron Channeling Contrast)襯度│▩₪•☁。它可以反映不同取向的晶粒以及一些缺陷│▩₪•☁。
 
  臺式掃描電子顯微鏡使用中關於晶體的資料☁✘▩,二次電子和背散射電子的產額與初始電子束與晶面的相對取向有關│▩₪•☁。晶體取向的不同會造成初始電子被試樣原子散射的機率發生差異☁✘▩,從而影響二次電子和背散射電子的產額│▩₪•☁。兩種不同取向晶粒☁✘▩,關於A晶粒☁✘▩,電子進入該晶粒時☁✘▩,與原子核發生磕碰的機率減小☁✘▩,大機率會直接透過往樣品更深處運動☁✘▩,磕碰減小☁✘▩,往樣品外散射的訊號就會減小☁✘▩,圖畫中體現的襯度就會低☁✘▩,比較暗;相反☁✘▩,關於B晶粒☁✘▩,取向發生改變☁✘▩,電子進入該晶粒中☁✘▩,磕碰機率提高☁✘▩,發生的訊號量就會增加☁✘▩,圖畫中體現的襯度就會較高☁✘▩,比較亮│▩₪•☁。因而☁✘▩,晶粒取向不同☁✘▩,對發生的訊號量就會造成影響☁✘▩,透過將這些訊號蒐集起來進行處理就可以對不同的取向進行表徵│▩₪•☁。
 
  在瞭解了通道襯度是如何構成的之後☁✘▩,要如安在樣品上觀察到這種襯度呢↟↟✘✘•?
 
  首先☁✘▩,需求是晶體資料☁✘▩,外表具有良好的晶體結構☁✘▩,因而☁✘▩,關於樣品製備的要求相關於常規掃描樣品要愈加嚴格│▩₪•☁。臺式掃描電子顯微鏡需求對樣品進行拋光處理☁✘▩,取得平坦的外表│▩₪•☁。一起在機械拋光完成之後外表仍然存在應力層☁✘▩,為了去掉應力層☁✘▩,可以選用振盪拋光☁✘▩,矽膠拋光☁✘▩,電解拋光☁✘▩,或許氬離子拋光☁✘▩,關於部分資料☁✘▩,也可以直接用相應的腐蝕液稍微腐蝕一下☁✘▩,也能很好的去除應力層│▩₪•☁。每種制樣辦法都有各自的優缺點☁✘▩,振盪拋光和選用矽膠拋光的辦法☁✘▩,製備的外表很平坦☁✘▩,可是往往需求較長的時刻才幹很好的去除應力層;電解拋光需求樣品導電☁✘▩,拋光引數(包含拋光的時刻電壓電流☁✘▩,電解液的挑選等)需求摸索☁✘▩,拋光的樣品也不適合很大☁✘▩,含有夾雜物或許多相的資料也不適合用電解拋光;氬離子拋光主要有兩種☁✘▩,一種是平面拋光☁✘▩,一種是截面拋光☁✘▩,平面拋光可以在樣品外表接近中心的方位進行☁✘▩,可是往往會帶來非常顯著的外表浮凸☁✘▩,引入形貌襯度☁✘▩,截面拋光雖然可以取得非常平坦的面☁✘▩,可是隻能在邊緣處進行☁✘▩,區域比較小│▩₪•☁。因而☁✘▩,依據樣品挑選適宜的制樣辦法☁✘▩,終究取得一個平坦的無應力層的外表│▩₪•☁。

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