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臺式掃描電鏡飛納的發展史

 釋出時間•↟◕:2022-10-14 點選量•↟◕:350
 臺式掃描電鏡飛納的發展史
1948
飛納電鏡源自飛利浦電子光學部分·₪,1948 年·₪,D 一臺飛利浦實驗室研發的透射電鏡 (400kV!)₪╃╃◕₪。
1949
飛納電鏡源自飛利浦電子光學部門·₪,1949 年·₪,D 一臺商業化的電鏡 EM100 在 PHILIPS 實驗室製造完成₪╃╃◕₪。
 
1997 年美國 FEI 公司收購飛利浦電鏡部; FEI 和飛利浦電子光學宣佈合併其業務·₪,FEI 公司在掃描電鏡行業處於**地位·₪,其產品代表X進的電鏡技術₪╃╃◕₪。
2006 FEI 成立 Phenom World 公司·₪,釋出D 一臺臺式掃描電子顯微鏡飛納 Phenom G1·₪,放大倍數 10,000 倍·₪,使用高亮度 CeB6 燈絲;
2012 年 3 月·₪,Karel.Mast 教授帶領原飛利浦電鏡部門精英研發出S臺電鏡能譜一體機·₪,開創電鏡能譜設計新理念·₪,兩年銷量 790 臺;同時推出粗糙度測量等功能性軟體;
2013 年 Phenom-World 公司推出第 3 代飛納臺式掃描電鏡產品·₪,第 3 代飛納臺式掃描電鏡主要優勢在於解析度由一代的 30 nm 提高到了 17 nm·₪,放大倍數由 20,000 X 提高到 100,000 X·₪,臺式掃描電鏡分辨能力從此可與大型鎢燈絲電鏡媲美·₪, 結合飛納臺式掃描電鏡 15 秒快速抽真空·₪,不導電樣品無需噴金等;
2014 年 9 月·₪,Phenom-World 公司共計推出 4 代產品·₪,其中飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統S 次將能譜和電鏡整合在一起·₪,透過一個軟硬體系統控制·₪,將能譜的操作難度顯著降低·₪,飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 開創了電鏡能譜領域的新概念·₪,兩年時間內增加了 1100 名使用者₪╃╃◕₪。
2015 年 3 月 22 日·₪,Phenom World 公司推出第 5 代產品·₪,解析度達到 14 奈米·₪,放大倍數 13 萬倍;同年·₪,PW 推出了世界S 臺熒光電鏡一體機 Delphi·₪,將光電關聯電鏡技術發展成為臺式設計;
2019 年·₪,飛納臺式場發射掃描電鏡橫空出世·₪,在同樣體積的前提下將解析度提升到了 2 nm·₪,同時標配了背散射以及能譜探頭(選配二次電子探頭)₪╃╃◕₪。
 
那麼我們不禁會問·₪,提升解析度的好處顯而易見·₪,那麼將掃描電鏡做到如此小的尺寸能夠帶來哪些好處呢•↟↟•?
 
節省空間·₪,降低實驗室成本
落地式電鏡一般都需要單獨的房間安置·₪,面積基本上為 20 平米起步·₪,而且需要安裝在震動較小的樓層·₪,如果環境震動超標還需要購置防震臺₪╃╃◕₪。相比之下·₪,飛納臺式電鏡的要求就沒有那麼嚴苛了·₪,只需要一個不足 1 平米的桌子·₪,並且不需要購買防震臺₪╃╃◕₪。因此·₪,臺式電鏡可以節約大量的空間成本₪╃╃◕₪。
 
管理輕鬆·₪,降低人力成本
落地式電鏡往往需要專業人員管理·₪,平均兩週更換一根燈絲·₪,同時需要清理陽極·₪、光闌等配件·₪,平時還需要購買惰性氣體和液氮·₪,每年還需定期維護保養₪╃╃◕₪。
 
而飛納臺式掃描電鏡就非常任性了·₪,從設計上就摒除了上述繁雜的操作·₪,它不需要專業人員管理·₪,不需要液氮和惰性氣體·₪,不需要清理陽極和光闌·₪,只需2-3年(視具體情況而定)更換一次燈絲以及做一次維護即可₪╃╃◕₪。

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