P 系列粉末原子層沉積系統

粉末包覆可有效提升材料效能與使用壽命◕│◕☁▩，如鋰電正極或負極材料◕│◕☁▩，經過表面包覆處理後在放電效能及迴圈使用壽命方面都有明顯提升◕│◕☁▩，但目前工業的包覆手段以機械混合的幹法為主◕│◕☁▩，該方法包覆均勻性較差◕│◕☁▩，效能提升有限·₪。ALD 技術可實現高精度及均勻包覆◕│◕☁▩，是理想的包覆手段·₪。Forge Nano 針對粉末類材料比表面積大的特點◕│◕☁▩，採用流化床技術實現粉末材料的流化◕│◕☁▩，從而保證前驅體與粉末實現充分的接觸·₪。P 系列粉末原子層沉積系統是 Forge Nano 針對工業包覆研發的粉末 ALD 負載系統◕│◕☁▩，可實現 kg 級粉末批次包覆◕│◕☁▩，是工業生產前理想的研發工具·₪。

產品規格【原子層沉積多少錢】

1. 前驅體通道☁◕◕↟✘：2-8

2. 腔室容量☁◕◕↟✘：0-600ml

3. 反應器溫度☁◕◕↟✘：450℃

4. 最高工藝溫度☁◕◕↟✘：200℃

5. 振動流化床反應器

6. 模組☁◕◕↟✘：流化輔助◕│◕☁▩，質譜◕│◕☁▩，臭氧發生器◕│◕☁▩，等離子體發生器

產品特點

P 系列是 Forge Nano 專為粉末 ALD 開發的研發級工具◕│◕☁▩，可輕鬆實現 kg 的粉末包覆·₪。使用流化床技術可保證粉末在反應器中的分散◕│◕☁▩，有利於前驅體擴散·₪。

流化輔助

粉末在長時間存放或流化不充分時容易出現團聚◕│◕☁▩，導致無法形成理想的流化態·₪。因此利用流化輔助模組◕│◕☁▩，高剪下氣流以及振動反應器的設計可衝散團聚顆粒◕│◕☁▩，確保分散效果·₪。

分割槽加熱

所有前驅體源均可獨立加熱◕│◕☁▩，保證運輸條件◕│◕☁▩，這對於部分低蒸汽壓的前驅體以及敏感的基底材料非常重要·₪。P 系列也擁有*的閥門控制系統◕│◕☁▩，可以實現多通道前驅體輸運·₪。

線上監測

P 系列配置了氣體線上分析系統◕│◕☁▩，對 ALD 工藝的改善有較大幫助◕│◕☁▩，使用者可透過氣體成分判斷反應的完成度·₪。

應用

鋰電池☁◕◕↟✘：鋰電正極或負極材料的包覆可有效提升其放電效能及使用壽命·₪。常見的 NCM 與磷酸鐵鋰◕│◕☁▩，在表面包覆 Al₂O₃ 等氧化物薄膜後◕│◕☁▩，在經過多次放電後◕│◕☁▩，仍可保持較高的能量密度·₪。

3D 列印☁◕◕↟✘：3D 列印粉末存在腐蝕及表面氧化的問題◕│◕☁▩，會影響最終器件的效能·₪。透過表面塗層改性◕│◕☁▩，可有效延緩氧化及腐蝕·₪。傳統的包覆方式是在器件表面進行 ALD 沉積◕│◕☁▩，但對於 3D 列印粉末◕│◕☁▩，直接對原材料粉末改性無疑是更有效的手段·₪。

催化☁◕◕↟✘：催化反應大多數是發生在材料表面的介面反應◕│◕☁▩，因此對於催化劑材料進行表面構築改性是有效的效能提升手段·₪。利用 ALD 可以直接在粉末◕│◕☁▩，纖維材料表面生長高活性奈米塗層◕│◕☁▩，另一種方法是利用模板法結合 ALD 在表面構築特定結構◕│◕☁▩，暴露活性位點·₪。此外◕│◕☁▩，也可以在特定的顆粒表面進行表面包覆◕│◕☁▩，防止催化劑燒結團聚·₪。